弹性发射加工

弹性发射光学制造技术研究进展
2021年1月22日 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性 2021年10月7日 弹性发射加工技术 (Elastic Emission Machining,EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20世纪70年代提出的一种原子量级的超光滑抛光技术。 基本原理如图1所示,光学 弹性发射光学制造技术研究进展加工2021年11月12日 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性 弹性发射光学制造技术研究进展 道客巴巴本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性发射加工技术表面粗糙 ScienceChina 中国科学文献服务系统
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基于流体动力润滑效应的双转弹性发射加工技术研究学位万方
弹性发射加工是基于流体动力润滑效应获取超光滑表面的一种重要方式,但是目前该方法在进一步改善粗糙度上遇到瓶颈,本文为了突破这一问题,对双转弹性发射加工技术进行系统研究,主 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性发射加工技术表面 中国光学(中英文)2021年2月22日 弹性发射 加工技术是一种去除函数稳定,超低亚表面缺陷,面向原子级的超光滑加工方法,可以作为加工上述精度要求光学元件 的手段。本文总结了弹性发射加工技术的国 弹性发射光学制造技术研究进展 百度文库本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性发射加工技术表面粗糙 弹性发射光学制造技术研究进展【维普期刊官网】 中文期刊
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弹性发射光学制造技术研究进展 百度学术
深紫外光刻,极紫外光刻和先进光源等现代光学工程需求牵引先进光学制造技术持续发展,要求超光滑光学元件表面粗糙度达到原子级水平以及表面全频段面形误差达到RMS(Root Mean 弹性发射加工 技术材料去除机理 弹性发射加工技术(Elastic Emission Machining,EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20世纪70年代提出的一种原子量级的超光滑抛光技术。基本原理如图1所示,光学元件和弹性变形恢复快的聚氨酯抛光工具浸泡在混合有纳米级 弹性发射光学制造技术研究进展 旭为光电弹性发射加工技术是一种去除函数稳定,超低亚表面缺陷,面向原子级的超光滑加工方法,可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理, ScienceChina 中国科学文献服务系统2021年1月22日 椭球面,超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工 技术是一种去除函数稳定,超低亚表面缺陷,面向原子级的超光滑加工方法,可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。本文总结了弹性发射加工技术的 弹性发射光学制造技术研究进展
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弹性发射光学制造技术研究进展 百度学术
弹性发射光学制造技术研究进展 优质文献 中国光学期刊网 国家科技图书文献中心 (权威机构) 维普期刊专业版 万方 掌桥科研 查看更多 知网 钛学术 《中国光学》官网 钛学术 (全网免费下载)弹性,发射,加工, 半导体材料 年份: 1989 收藏 引用 批量引用 报错 分享 全部来源 免费下载 求助全文 国家科技图书文献中心 (权威机构) 万方 维普期刊专业版 掌桥科研 维普网 查看更多 钛学术 (全网免费下载) 钛学术 jinyueya 钛学术 (全网免费下载) 弹性发射加工技术:一种新型材料的加工技术 百度学术2021年2月22日 分析了弹性发射加工技术面临的问题,展望了未来的发展方向,期望为弹性发射加工技术进一步发展和应用提供一定的 参考。 关 键 词:先进光学制造;超精密光学;超光滑加工技术;弹性发射加工技术 中图分类号:TG35628 术挑战。弹性发射光学制造技术研究进展 百度文库2016年8月12日 弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方法。其加工原理如图1所示。 加工时使用聚氨脂球作加工头,在高速旋转的加工头与被加工工件表面之间加上含有微细磨粒 超精密研磨抛光方法
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纳米颗粒胶体射流抛光机理及试验研究 百度学术
借鉴弹性发射加工的去除原理,本文提出了一种新的超光滑表面加工方法——纳米颗粒胶体射流抛光方法。纳米颗粒胶体射流抛光方法将界面化学、流体动力学理论与光学加工方法相结合,提供了一种可以实现原子级去处的加工方法。2021年12月30日 本文介绍了弹性发射加工技术在超光滑光学元件制造领域的应用。该技术能够实现原子级水平的表面粗糙度和面形误差,适用于复杂曲面的加工。随着现代光学工程对超光滑光学元件的需求日益苛刻,弹性发射加工技术成为了重要的研究方向,可以为先进光源和光刻技术等现代光学工程提供优秀的 弹性发射光学制造技术研究进展超精加工 及其检测技术 教育背景 201009201607 北京理工大学 获得博士学位 200609201007 北京理工大学 获得学士学位 (2) 弹性发射光学制造技术研究进展, Research progress of elastic emission machining in optical manufacturing, 中国光学, 2021 张云中国科学院大学UCAS2021年2月22日 分析了弹性发射加工技术面临的问题,展望了未来的发展方向,期百度文库为弹性发射加工技术进一步发展和应用提供一定的 参考。 关 键 词:先进光学制造;超精密光学;超光滑加工技术;弹性发射加工技术 中图分类号:TG35628 文献标志码:A doi:10弹性发射光学制造技术研究进展 百度文库

中国光学(中英文)
本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因素,分析了弹性发射加工技术面临的2021年7月24日 弹性发射加工-EEM (Elastic Emission Machining ) 眼镜的应用,1360年的绘画上发现。 望远镜和显微镜是在文艺复兴时期发明的。 现在,除已实现批量生产透镜和棱镜外,其加工水平已能完成 光学镜面和保证高形状精度的光学平晶、平行平晶以及具有 第5章超精密研磨与抛光PPT课件百度文库2021年11月16日 椭球面,超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工 技术是一种去除函数稳定,超低亚表面缺陷,面向原子级的超光滑加工方法,可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。本文总结了弹性发射加工技术的 弹性发射光学制造技术研究进展 中国光学 中国光学期刊网摘要: 深紫外光刻,极紫外光刻和先进光源等现代光学工程需求牵引先进光学制造技术持续发展,要求超光滑光学元件表面粗糙度达到原子级水平以及表面全频段面形误差达到RMS(Root Mean Square)亚纳米量级甚至几十皮米,推动超光滑光学元件制造要求不断逼近物理极限目前,对于如何实现上述超高精度要求 弹性发射光学制造技术研究进展 百度学术

弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究(可编辑) 豆丁网
2014年8月13日 硕士学位论文 弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 学 号: 完成日期: 年月 大连理工大学 大连理工大学学位论文独创性声明 作者郑重声明:所呈交的 学位论文,是本人在导师的指导下进行研究 工作所取得的成果。弹性发射加工 高速流体加工 DOI: CNKI:SUN:ZJYC05 被引量: 1 年份: 1989 收藏 引用 批量引用 报错 分享 全部来源 求助全文 国家科技图书文献中心 (权威机构) 维普期刊专业版 掌桥科研 维普网 知网 查看更多 通过 弹性发射加工 百度学术摘要: 随着科学技术的发展,具有超光滑表面质量的光学元件已广泛应用于高精密产品和现代化国防等重要领域,超光滑表面加工技术是当今制造业的研究热点,直接影响机械产品的精度和表面质量,本文研究的弹性发射加工技术(Elastic emission machining,简称EEM)具有加工范围广,材料去除稳定,无亚表面损伤等 弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 百度学术2021年10月17日 之后Kanaoka M [2] 等人通过弹性发射加工对低热膨胀材料进行加工,发现工件在去除一定深度的材料后,其表面粗糙度RMS收敛到01 nm的恒定值。 李庆宇 [ 3 ] 在现有的弹性发射加工的基础上,开展双转弹性发射加工技术的研究,在公转20 r/min、自转500 r/min下获得了 RMS 为0080 1 nm的超光滑表面。光学元件超光滑表面的流体动压抛光特性研究
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弹性发射光学制造技术研究进展光学加工与制造光行天下
2021年10月7日 椭球面,超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工 技术是一种去除函数稳定,超低亚表面缺陷,面向原子级的超光滑加工方法,可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。本文总结了弹性发射加工技术的 1弹性发射加工 2浮动抛光 3 动压浮离抛光 3砂轮结合剂 砂轮结合剂有树脂类、金属类、陶瓷类等,以 树脂类应用为广。对粗粒度砂轮,可用陶瓷结 合剂。金属类、陶瓷类结合剂是目前超精密加 工领域中研究的重要方面 1第三章 精密与超精密磨料加工百度文库2021年10月7日 尤其对如何实现柱面,椭球面,超环面等复杂 曲面 的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工技术是一种去除函数稳定,超低亚表面缺陷,面向原子级的超光滑加工方法,可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。弹性发射光学制造技术研究进展光学加工与制造光行天下 2015年11月16日 硕士学位论文弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究StudyofBehaviourofParticleGroupMovementinElasticEmissionMachiningmISachmm2学号:完成 弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 豆丁网
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弹性发射加工材料去除的滚动模型分析,International Journal of
2023年6月25日 弹性发射加工(EEM)是获得超光滑表面的最有效技术之一。抛光轮将抛光颗粒供给到工件表面的特定位置,与工件发生化学反应,实现材料的无损去除。然而,抛光轮与浆料之间的相互作用以及原子去除机制仍不清楚。在这项研究中,在三维状态下考虑抛光轮和浆料之间的相互动态相互作用,并建立 摘要: 弹性发射加工是基于流体动力润滑效应获取超光滑表面的一种重要方式,但是目前该方法在进一步改善粗糙度上遇到瓶颈,本文为了突破这一问题,对双转弹性发射加工技术进行系统研究,主要研究内容包括:(1)根据装置所需性能,对双转弹性发射加工装置进行设计从设计指标,性能参数,关键 基于流体动力润滑效应的双转弹性发射加工技术研究 百度学术2015年7月8日 工件的表面质量ꎬ因而成为超光滑表面加工技术研究 的热点方向ꎮ下面将介绍几种非接触式超光滑表面加 工技术ꎬ总结其加工原理、特点以及国内外最新研究 进展ꎮ 21 弹性发射加工 日本大阪大学的Mori[7]首先提出弹性发射加工ꎬ超光滑表面加工技术研究进展图13 弹性发射加工原理 机理:微切削+被加工材料的微塑性流动作用 一、 精细与超精细加工技术 ★ 液体动力抛光 工作原理〔图14〕 工具运动方向 抛光工具 抛光工具上开有锯齿槽, 抛光液 磨粒 靠楔形挤压和抛光液的反 弹,增加微切削作用。 工件《超精密加工技术》PPT课件百度文库
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弹性发射光学制造技术研究进展【维普期刊官网】 中文期刊
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数控弹性发射加工 百度学术
1加工原理如图1所示,所谓弹性发射加工(简称EEM)是将聚氨基甲酸乙脂回转球与工件一起置于悬浊液(含微细粉末粒子)中,利用回转球与工件表面之间产生的流体润滑现象,去除工件表面材料的方法 展开 1加工原理如图1所示,所谓弹性发射加工(简称EEM)是将聚氨基甲酸乙脂回转球与工件一起置于悬浊液(含微细粉末粒子)中,利用回转球与工件表面之间产生的流体润滑现象,去除工件表面材料的方法 展开 数控弹性发射加工 百度学术一种用于弹性发射加工的工具轮 中国: CNA, [77] 喻波, 姚舜, 金春水 基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法 中国: CNA, [78] 张海涛, 金春水, 马冬梅, 于杰 一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置金春水中国科学院大学UCAS2008年3月19日 超精密研磨包括机械研磨、化学机械研磨、浮动研磨、弹性发射加工以及磁力研磨等加工方法。超精密研磨加工出的球面不球度达0.025ttm,表面粗糙度达 RaO.003μm。利用弹性发射加工可加工出无变质层的镜面,粗糙度可达。超精密加工技术概述机床商务网
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弹性发射加工加工工艺机电之家网加工工艺栏目
2013年5月27日 弹性发射加工(EEM,Elastic Emission Machining)是指加工时研具与工件互不接触,通过微粒子冲击工件表面,对物质的原子结合产生弹性破坏,以原子级的加工单位去除工件材料,从而获得无损伤的加工表面。2006年10月18日 机械加工必然残留有加工变质层, 加工中还伴随 着化学反应等复杂现象 [ 2, 3] , 材料去除的原理是从一层 原子到数层原子乃至数十层原子几种状态的复合。 图2 EEM 装置示意图 弹性发射加工装置( Elast ic Emission Machining, Hale Waihona Puke Baidu 。超精密研磨技术的现状及发展趋势百度文库本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展,归纳了弹性发射加工技术的原理,包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性,弹性发射加工装备,影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因素,分析了弹性发射加工技术面临的中国光学(中英文)“弹性发射加工技术:一种新型材料的加工技术”出自《国外科技》期刊1989年第8 期文献,主题关键词涉及有弹性、发射、加工、半导体材料等。钛学术提供该文献下载服务。 钛学术 文献服务平台 学术出版新技术应用与公共服务实验室出品 弹性发射加工技术:一种新型材料的加工技术 钛学术文献
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超精密研磨技术的原理、 应用和优势 机床商务网
2010年12月13日 目前,国内外研磨加工主要还是采用散粒磨料在慢速研磨机上研磨。 其特点是加工精度高、 加工设备简单、投资少,但是加工精度不稳定、 加工成本高、 效率低。 3几种纳米级研磨加工方法 31 弹性发射加工 弹性发射加工装置(Elastic Emissi on Machining